标准多轴精密平台是如何构造的？
目前市场上，多轴精密运动台多用于晶圆切割方案，半导体主要应用于晶圆制造与芯片封装环节。可供选择的产品也比较多，如雅科贝思旗下就有很多非常不错的多轴精密平台。下面就让小编来为大家介绍下，标准多轴精密平台是如何构造的？据小编了解到，XY轴采用十字叠层式结构，三片式结构（下轴定子组件、下轴动子组件和上轴动子组件，下轴动子组件和上轴定子组件共用一个组件）组成，优势：尽量避免因叠层引起的阿贝误差，影响整体精度性能。
Y轴采用精密直线导轨，直线电机质心驱动和光栅尺闭环反馈，有效使用行程450mm，精密直线导轨，直线电机和光栅尺直接安装到大理石基座上，驱动动子组件用于Y方向步进运动。X轴（上轴）采用精直线导轨直线电机质心驱动和光栅尺闭环反馈，有效使用行程360mm，
标准多轴精密平台Y轴直线导轨，直驱电机和光栅尺直接安装到Y轴动子组件上，用于X方向连续扫描切割运动。XY轴垂直度优于±2arc sec.；θ轴（旋转轴）采用直驱力矩电机，精密交叉滚子轴承和光栅尺闭环反馈，可360度连续旋转，θ轴直接安装到Y轴上。
真空吸盘安装到θ轴上，所有部件组装完成后相对基准面小于8um.。Z轴采用精密直线导轨，直线电机质心驱动和光栅尺闭环反馈，行程50mm，低摩擦气缸做配重安装到龙门桥架上。
关于标准多轴精密平台的结构，小编就先为大家介绍到这里。了解产品信息是非常重要的，如果你对多轴精密平台还有其他疑问，或者想要了解更多产品，可以通过雅科贝思的官网咨询了解，雅科贝思公司致力于对新技术和解决方案的创新与研发。
页:
[1]
